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국내외 반도체ㆍ시스템반도체 산업 시장 분석과 기술 개발 동향 (하)
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| Publication Date | 2023/07/01 |
| Pages/Weight/Size | 210*297*5mm |
| ISBN | 9791197370182 |
| Categories | 경제 경영 > 경제 |
Contents
Ⅵ. 국내외 반도체 주요 소재/부품/장비 산업 및 시장분석
1. 반도체용 특수가스류[11BF3, CHF3, CO, CO2, Kr, Xe]
1) 산업 현황
(1) 개념 및 분류
(2) 기술수준과 기술격차
(3) 산업 동향
2) 국내외 시장 전망
(1) 시장 성장 촉진요인 및 저해요인
(2) 해외 시장
(3) 국내 시장
(4) 시장 경쟁 현황
(5) 시장 공급망 분석
3) 국내외 기술개발 및 주요기업 동향
(1) 기술 개발 주요 이슈
(2) 연구개발 동향
(3) 국내외 주요기업 기술 개발 동향
가. 해외 기업
나. 국내 기업
4) 핵심기술 개발 계획
(1) 기업 기술 개발 전략
(2) 핵심기술
2. TDMAS 소재
1) 산업 현황
(1) 개념 및 분류
(2) 기술수준과 기술격차
(3) 산업 동향
2) 국내외 시장 전망
(1) 시장 성장 촉진요인 및 저해요인
(2) 해외 시장
(3) 국내 시장
(4) 시장 경쟁 현황
(5) 시장 공급망 분석
3) 국내외 기술개발 및 주요기업 동향
(1) 기술 개발 주요 이슈
(2) 연구개발 동향
(3) 국내외 주요기업 기술 개발 동향
가. 해외 기업
나. 국내 기업
4) 핵심기술 개발 계획
(1) 기업 기술 개발 전략
(2) 핵심기술
3. 초고순도 불화수소
1) 산업 현황
(1) 개념 및 분류
(2) 산업 동향
2) 국내외 시장 전망
(1) 해외 시장
(2) 국내 시장
(3) 시장 공급망 분석
3) 국내외 기술개발 및 주요기업 동향
(1) 기술 개발 주요 이슈
(2) 연구개발 동향
(3) 국내외 주요기업 기술 개발 동향
가. 해외 기업
나. 국내 기업
4) 핵심기술 개발 계획
(1) 기업 기술 개발 전략
(2) 핵심기술
4. 실리콘 웨이퍼
1) 산업 현황
(1) 개념 및 분류
(2) 산업 동향
2) 국내외 시장 전망
(1) 해외 시장
(2) 국내 시장
(3) 시장 공급망 분석
3) 국내외 기술개발 및 주요기업 동향
(1) 기술 개발 주요 이슈
(2) 연구개발 동향
(3) 국내외 주요기업 기술 개발 동향
가. 해외 기업
나. 국내 기업
(4) 기술이전 관련 정보
4) 핵심기술 개발 계획
(1) 기업 기술 개발 전략
(2) 핵심기술
5. 고효율 유무기 하이브리드 방열 소재
1) 산업 현황
(1) 개념 및 분류
(2) 기술수준과 기술격차
(3) 산업 동향
2) 국내외 시장 전망
(1) 시장 성장 촉진요인 및 저해요인
(2) 해외 시장
(3) 국내 시장
(4) 시장 경쟁 현황
(5) 시장 공급망 분석
3) 국내외 기술개발 및 주요기업 동향
(1) 기술 개발 주요 이슈
(2) 연구개발 동향
(3) 국내외 주요기업 기술 개발 동향
가. 해외 기업
나. 국내 기업
(4) 기술이전 관련 정보
4) 핵심기술 개발 계획
(1) 기업 기술 개발 전략
(2) 핵심기술
6. 루테늄 (Ru) 박막의 ALD 전구체
1) 산업 현황
(1) 개념 및 분류
(2) 산업 동향
2) 국내외 시장 전망
(1) 시장 성장 촉진요인 및 저해요인
(2) 해외 시장
(3) 국내 시장
(4) 시장 경쟁 현황
(5) 시장 공급망 분석
3) 국내외 기술개발 및 주요기업 동향
(1) 기술 개발 주요 이슈
(2) 연구개발 동향
(3) 국내외 주요기업 기술 개발 동향
가. 해외 기업
나. 국내 기업
(4) 기술이전 관련 정보
4) 핵심기술 개발 계획
(1) 기업 기술 개발 전략
(2) 핵심기술
7. 식각장치용 컨트롤러 및 센서
1) 산업 현황
(1) 개념 및 분류
(2) 산업 동향
2) 국내외 시장 전망
(1) 해외 시장
(2) 국내 시장
(3) 시장 공급망 분석
3) 국내외 기술개발 및 주요기업 동향
(1) 기술 개발 주요 이슈
(2) 국내외 주요기업 기술 개발 동향
가. 해외 기업
나. 국내 기업
4) 핵심기술 개발 계획
(1) 기업 기술 개발 전략
(2) 핵심기술
8. 반도체 이온주입기
1) 산업 현황
(1) 개념 및 분류
(2) 산업 동향
2) 국내외 시장 전망
(1) 해외 시장
(2) 국내 시장
(3) 시장 공급망 분석
3) 국내외 기술개발 및 주요기업 동향
(1) 기술 개발 주요 이슈
(2) 연구개발 동향
(3) 국내외 주요기업 기술 개발 동향
가. 해외 기업
나. 국내 기업
4) 핵심기술 개발 계획
(1) 기업 기술 개발 전략
(2) 핵심기술
9. Power IC
1) 산업 현황
(1) 개념 및 분류
(2) 산업 동향
2) 국내외 시장 전망
(1) 해외 시장
(2) 국내 시장
(3) 시장 공급망 분석
3) 국내외 기술개발 및 주요기업 동향
(1) 기술 개발 주요 이슈
(2) 연구개발 동향
(3) 국내외 주요기업 기술 개발 동향
가. 해외 기업
나. 국내 기업
(4) 기술이전 관련 정보
4) 핵심기술 개발 계획
(1) 기업 기술 개발 전략
(2) 핵심기술
10. 레귤레이터 IC
1) 산업 현황
(1) 개념 및 분류
(2) 산업 동향
2) 국내외 시장 전망
(1) 해외 시장
(2) 국내 시장
(3) 시장 공급망 분석
3) 국내외 기술개발 및 주요기업 동향
(1) 기술 개발 주요 이슈
(2) 연구개발 동향
(3) 국내외 주요기업 기술 개발 동향
가. 해외 기업
나. 국내 기업
(4) 기술이전 관련 정보
4) 핵심기술 개발 계획
(1) 기업 기술 개발 전략
(2) 핵심기술
11. 반도체 리페어 장치
1) 산업 현황
(1) 개념 및 분류
(2) 산업 동향
2) 국내외 시장 전망
(1) 해외 시장
(2) 국내 시장
(3) 시장 공급망 분석
3) 국내외 기술개발 및 주요기업 동향
(1) 기술 개발 주요 이슈
(2) 연구개발 동향
(3) 국내외 주요기업 기술 개발 동향
가. 해외 기업
나. 국내 기업
4) 핵심기술 개발 계획
(1) 기업 기술 개발 전략
(2) 핵심기술
12. 반도체 노광장치
1) 산업 현황
(1) 개념 및 분류
(2) 산업 동향
2) 국내외 시장 전망
(1) 해외 시장
(2) 국내 시장
(3) 시장 공급망 분석
3) 국내외 기술개발 및 주요기업 동향
(1) 기술 개발 주요 이슈
(2) 연구개발 동향
(3) 국내외 주요기업 기술 개발 동향
가. 해외 기업
나. 국내 기업
(4) 기술이전 관련 정보
4) 핵심기술 개발 계획
(1) 기업 기술 개발 전략
(2) 핵심기술
13. EUV 블랭크 마스크
1) 산업 현황
(1) 개념 및 분류
(2) 산업 동향
2) 국내외 시장 전망
(1) 해외 시장
(2) 국내 시장
(3) 시장 공급망 분석
3) 국내외 기술개발 및 주요기업 동향
(1) 기술 개발 주요 이슈
(2) 연구개발 동향
(3) 국내외 주요기업 기술 개발 동향
가. 해외 기업
나. 국내 기업
4) 핵심기술 개발 계획
(1) 기업 기술 개발 전략
(2) 핵심기술
14. 리소그래피 - Mask Writer
1) 산업 현황
(1) 개념 및 분류
(2) 기술수준과 기술격차
(3) 산업 동향
2) 국내외 시장 전망
(1) 시장 성장 촉진요인 및 저해요인
(2) 해외 시장
(3) 국내 시장
(4) 수출입동향
(5) 시장 경쟁 현황
(6) 시장 공급망 분석
3) 국내외 기술개발 및 주요기업 동향
(1) 기술 개발 주요 이슈
(2) 연구개발 동향
(3) 국내외 주요기업 기술 개발 동향
가. 해외 기업
나. 국내 기업
(4) 기술이전 관련 정보
4) 핵심기술 개발 계획
(1) 기업 기술 개발 전략
(2) 핵심기술
15. 반도체 CMP 장치 및 부품
1) 산업 현황
(1) 개념 및 분류
(2) 산업 동향
2) 국내외 시장 전망
(1) 해외 시장
(2) 국내 시장
(3) 시장 공급망 분석
3) 국내외 기술개발 및 주요기업 동향
(1) 기술 개발 주요 이슈
(2) 연구개발 동향
(3) 국내외 주요기업 기술 개발 동향
가. 해외 기업
나. 국내 기업
(4) 기술이전 관련 정보
4) 핵심기술 개발 계획
(1) 기업 기술 개발 전략
(2) 핵심기술
16. 터보식펌프
1) 산업 현황
(1) 개념 및 분류
(2) 산업 동향
2) 국내외 시장 전망
(1) 해외 시장
(2) 국내 시장
(3) 시장 공급망 분석
3) 국내외 기술개발 및 주요기업 동향
(1) 기술 개발 주요 이슈
(2) 연구개발 동향
(3) 국내외 주요기업 기술 개발 동향
가. 해외 기업
나. 국내 기업
4) 핵심기술 개발 계획
(1) 기업 기술 개발 전략
(2) 핵심기술
17. 반도체용 히터
1) 산업 현황
(1) 개념 및 분류
(2) 산업 동향
2) 국내외 시장 전망
(1) 해외 시장
(2) 국내 시장
(3) 시장 공급망 분석
3) 국내외 기술개발 및 주요기업 동향
(1) 기술 개발 주요 이슈
(2) 연구개발 동향
(3) 국내외 주요기업 기술 개발 동향
가. 해외 기업
나. 국내 기업
(4) 기술이전 관련 정보
4) 핵심기술 개발 계획
(1) 기업 기술 개발 전략
(2) 핵심기술
18. 진공펌프
1) 산업 현황
(1) 개념 및 분류
(2) 산업 동향
2) 국내외 시장 전망
(1) 해외 시장
(2) 국내 시장
(3) 시장 공급망 분석
3) 국내외 기술개발 및 주요기업 동향
(1) 기술 개발 주요 이슈
(2) 연구개발 동향
(3) 국내외 주요기업 기술 개발 동향
가. 해외 기업
나. 국내 기업
4) 핵심기술 개발 계획
(1) 기업 기술 개발 전략
(2) 핵심기술
19. MFC(Mass Flow Controller)
1) 산업 현황
(1) 개념 및 분류
(2) 산업 동향
2) 국내외 시장 전망
(1) 해외 시장
(2) 국내 시장
(3) 시장 공급망 분석
3) 국내외 기술개발 및 주요기업 동향
(1) 기술 개발 주요 이슈
(2) 연구개발 동향
(3) 국내외 주요기업 기술 개발 동향
가. 해외 기업
나. 국내 기업
4) 핵심기술 개발 계획
(1) 기업 기술 개발 전략
(2) 핵심기술
20. CVD(Chemical Vapor Deposition) 장치 부품
1) 산업 현황
(1) 개념 및 분류
(2) 산업 동향
2) 국내외 시장 전망
(1) 해외 시장
(2) 국내 시장
(3) 시장 공급망 분석
3) 국내외 기술개발 및 주요기업 동향
(1) 기술 개발 주요 이슈
(2) 연구개발 동향
(3) 국내외 주요기업 기술 개발 동향
가. 해외 기업
나. 국내 기업
(4) 기술이전 관련 정보
4) 핵심기술 개발 계획
(1) 기업 기술 개발 전략
(2) 핵심기술
21. 반도체 세정 장치 및 부품
1) 산업 현황
(1) 개념 및 분류
(2) 산업 동향
2) 국내외 시장 전망
(1) 해외 시장
(2) 국내 시장
(3) 시장 공급망 분석
3) 국내외 기술개발 및 주요기업 동향
(1) 기술 개발 주요 이슈
(2) 연구개발 동향
(3) 국내외 주요기업 기술 개발 동향
가. 해외 기업
나. 국내 기업
(4) 기술이전 관련 정보
4) 핵심기술 개발 계획
(1) 기업 기술 개발 전략
(2) 핵심기술
22. Single SPM(Sulfuric Peroxide Mixture) 세정장치
1) 산업 현황
(1) 개념 및 분류
(2) 기술수준과 기술격차
(3) 산업 동향
2) 국내외 시장 전망
(1) 시장 성장 촉진요인 및 저해요인
(2) 해외 시장
(3) 국내 시장
(4) 수출입동향
(5) 시장 경쟁 현황
(6) 시장 공급망 분석
3) 국내외 기술개발 및 주요기업 동향
(1) 기술 개발 주요 이슈
(2) 연구개발 동향
(3) 국내외 주요기업 기술 개발 동향
가. 해외 기업
나. 국내 기업
4) 핵심기술 개발 계획
(1) 기업 기술 개발 전략
(2) 핵심기술
23. 반도체 측정/분석/검사 장치 및 부품
1) 산업 현황
(1) 개념 및 분류
(2) 산업 동향
2) 국내외 시장 전망
(1) 해외 시장
(2) 국내 시장
(3) 시장 공급망 분석
3) 국내외 기술개발 및 주요기업 동향
(1) 기술 개발 주요 이슈
(2) 연구개발 동향
(3) 국내외 주요기업 기술 개발 동향
가. 해외 기업
나. 국내 기업
(4) 기술이전 관련 정보
4) 핵심기술 개발 계획
(1) 기업 기술 개발 전략
(2) 핵심기술
24. 2차원, 3차원 측정기
1) 산업 현황
(1) 개념 및 분류
(2) 산업 동향
2) 국내외 시장 전망
(1) 해외 시장
(2) 국내 시장
(3) 시장 공급망 분석
3) 국내외 기술개발 및 주요기업 동향
(1) 기술 개발 주요 이슈
(2) 연구개발 동향
(3) 국내외 주요기업 기술 개발 동향
가. 해외 기업
나. 국내 기업
4) 핵심기술 개발 계획
(1) 기업 기술 개발 전략
(2) 핵심기술
25. Bare Wafer 평탄도 검사장치
1) 산업 현황
(1) 개념 및 분류
(2) 산업 동향
2) 국내외 시장 전망
(1) 해외 시장
(2) 국내 시장
(3) 시장 공급망 분석
3) 국내외 기술개발 및 주요기업 동향
(1) 기술 개발 주요 이슈
(2) 연구개발 동향
(3) 국내외 주요기업 기술 개발 동향
가. 해외 기업
나. 국내 기업
4) 핵심기술 개발 계획
(1) 기업 기술 개발 전략
(2) 핵심기술
26. 반도체 테스터
1) 산업 현황
(1) 개념 및 분류
(2) 기술수준과 기술격차
(3) 산업 동향
2) 국내외 시장 전망
(1) 시장 성장 촉진요인 및 저해요인
(2) 해외 시장
(3) 국내 시장
(4) 수출입동향
(5) 시장 경쟁 현황
(6) 시장 공급망 분석
3) 국내외 기술개발 및 주요기업 동향
(1) 기술 개발 주요 이슈
(2) 연구개발 동향
(3) 국내외 주요기업 기술 개발 동향
가. 해외 기업
나. 국내 기업
(4) 기술이전 관련 정보
4) 핵심기술 개발 계획
(1) 기업 기술 개발 전략
(2) 핵심기술
27. 반도체 이송 반송 모듈 및 장치
1) 산업 현황
(1) 개념 및 분류
(2) 산업 동향
2) 국내외 시장 전망
(1) 해외 시장
(2) 국내 시장
(3) 시장 공급망 분석
3) 국내외 기술개발 및 주요기업 동향
(1) 기술 개발 주요 이슈
(2) 연구개발 동향
(3) 국내외 주요기업 기술 개발 동향
가. 해외 기업
나. 국내 기업
4) 핵심기술 개발 계획
(1) 기업 기술 개발 전략
(2) 핵심기술
28. 반도체 패키징 장비
1) 산업 현황
(1) 개념 및 분류
(2) 산업 동향
2) 국내외 시장 전망
(1) 해외 시장
(2) 국내 시장
3) 국내외 기술개발 및 주요기업 동향
(1) 기술 개발 주요 이슈
(2) 국내외 주요기업 기술 개발 동향
가. 해외 기업
나. 국내 기업
다. 국내 연구개발 기관
4) 핵심기술 개발 계획
(1) 기업 기술 개발 전략
(2) 핵심기술 개발 전략
가. 핵심기술
나. 핵심기술 개발 로드맵(2023~2025)
다. 핵심기술 연구목표
29. 반도체 열 특성 분석 시스템
1) 산업 현황
(1) 개념 및 분류
(2) 산업 동향
2) 국내외 시장 전망
(1) 해외 시장
(2) 국내 시장
3) 국내외 기술개발 및 주요기업 동향
(1) 기술 개발 주요 이슈
(2) 국내외 주요기업 기술 개발 동향
가. 해외 기업
나. 국내 기업
다. 국내 연구개발 기관
4) 핵심기술 개발 계획
(1) 기업 기술 개발 전략
(2) 핵심기술 개발 전략
가. 핵심기술
나. 핵심기술 개발 로드맵(2023~2025)
다. 핵심기술 연구목표
30. 반도체 증착 장비
1) 산업 현황
(1) 개념 및 분류
(2) 산업 동향
2) 국내외 시장 전망
(1) 해외 시장
(2) 국내 시장
3) 국내외 기술개발 및 주요기업 동향
(1) 기술 개발 주요 이슈
(2) 국내외 주요기업 기술 개발 동향
가. 해외 기업
나. 국내 기업
다. 국내 연구개발 기관
4) 핵심기술 개발 계획
(1) 기업 기술 개발 전략
(2) 핵심기술 개발 전략
가. 핵심기술
나. 핵심기술 개발 로드맵(2023~2025)
다. 핵심기술 연구목표
31. 반도체 검수용 프로브 핀 본딩 시스템
1) 산업 현황
(1) 개념 및 분류
(2) 산업 동향
2) 국내외 시장 전망
(1) 해외 시장
(2) 국내 시장
3) 국내외 기술개발 및 주요기업 동향
(1) 기술 개발 주요 이슈
(2) 국내외 주요기업 기술 개발 동향
가. 해외 기업
나. 국내 기업
다. 국내 연구개발 기관
4) 핵심기술 개발 계획
(1) 기업 기술 개발 전략
(2) 핵심기술 개발 전략
가. 핵심기술
나. 핵심기술 개발 로드맵(2023~2025)
다. 핵심기술 연구목표
32. 반도체 후공정 측정/검사 장비
1) 산업 현황
(1) 개념 및 분류
(2) 산업 동향
2) 국내외 시장 전망
(1) 해외 시장
(2) 국내 시장
3) 국내외 기술개발 및 주요기업 동향
(1) 기술 개발 주요 이슈
(2) 국내외 주요기업 기술 개발 동향
가. 해외 기업
나. 국내 기업
다. 국내 연구개발 기관
4) 핵심기술 개발 계획
(1) 기업 기술 개발 전략
(2) 핵심기술 개발 전략
가. 핵심기술
나. 핵심기술 개발 로드맵(2023~2025)
다. 핵심기술 연구목표
33. 반도체 식각 장비
1) 산업 현황
(1) 개념 및 분류
(2) 산업 동향
2) 국내외 시장 전망
(1) 해외 시장
(2) 국내 시장
3) 국내외 기술개발 및 주요기업 동향
(1) 기술 개발 주요 이슈
(2) 국내외 주요기업 기술 개발 동향
가. 해외 기업
나. 국내 기업
다. 국내 연구개발 기관
4) 핵심기술 개발 계획
(1) 기업 기술 개발 전략
(2) 핵심기술 개발 전략
가. 핵심기술
나. 핵심기술 개발 로드맵(2023~2025)
다. 핵심기술 연구목표
34. 반도체 증착 장치 및 부품
1) 산업 현황
(1) 개념 및 분류
(2) 산업 동향
2) 국내외 시장 전망
(1) 해외 시장
(2) 국내 시장
(3) 시장 공급망 분석
3) 국내외 기술개발 및 주요기업 동향
(1) 기술 개발 주요 이슈
(2) 연구개발 동향
(3) 국내외 주요기업 기술 개발 동향
가. 해외 기업
나. 국내 기업
(4) 기술이전 관련 정보
4) 핵심기술 개발 계획
(1) 기업 기술 개발 전략
(2) 핵심기술
Ⅶ. 반도체 주요 소재/부품/장비 분야 특허 동향
1. 반도체 패키징 장비 특허동향
1) 국내외 출원 동향
2) 기술개발 동향 변화 및 기술 현황
3) 기술 독점 현황 및 IP경쟁력
4) 주요 출원 기업 및 특허 목록
2. 반도체 열 특성 분석 시스템 특허동향
1) 국내외 출원 동향
2) 기술개발 동향 변화 및 기술 현황
3) 기술 독점 현황 및 IP경쟁력
4) 주요 출원 기업 및 특허 목록
3. 반도체 증착 장비 특허동향
1) 국내외 출원 동향
2) 기술개발 동향 변화 및 기술 현황
3) 기술 독점 현황 및 IP경쟁력
4) 주요 출원 기업 및 특허 목록
4. 반도체 검수용 프로브 핀 본딩 시스템 특허동향
1) 국내외 출원 동향
2) 기술개발 동향 변화 및 기술 현황
3) 기술 독점 현황 및 IP경쟁력
4) 주요 출원 기업 및 특허 목록
5. 반도체 후공정 측정/검사 장비 특허동향
1) 국내외 출원 동향
2) 기술개발 동향 변화 및 기술 현황
3) 기술 독점 현황 및 IP경쟁력
4) 주요 출원 기업 및 특허 목록
6. 반도체 식각 장비 특허동향
1) 국내외 출원 동향
2) 기술개발 동향 변화 및 기술 현황
3) 기술 독점 현황 및 IP경쟁력
4) 주요 출원 기업 및 특허 목록
7. 반도체 리페어 장치 특허동향
1) 국내외 출원 동향
2) 주요 출원 기업 및 특허 목록
(1) 해외 기업
(2) 국내 기업
3) 기술개발 동향 변화
8. 반도체 노광장치 특허동향
1) 국내외 출원 동향
2) 주요 출원 기업 및 특허 목록
(1) 해외 기업
(2) 국내 기업
3) 기술개발 동향 변화
9. EUV 블랭크 마스크 특허동향
1) 국내외 출원 동향
2) 주요 출원 기업 및 특허 목록
(1) 해외 기업
(2) 국내 기업
3) 기술개발 동향 변화
10. 반도체 CMP 장치 및 부품 특허동향
1) 국내외 출원 동향
2) 주요 출원 기업 및 특허 목록
(1) 해외 기업
(2) 국내 기업
3) 기술개발 동향 변화
11. 반도체 증착 장치 및 부품 특허동향
1) 국내외 출원 동향
2) 주요 출원 기업 및 특허 목록
(1) 해외 기업
(2) 국내 기업
3) 기술개발 동향 변화
12. 터보식펌프 특허동향
1) 국내외 출원 동향
2) 주요 출원 기업 및 특허 목록
(1) 해외 기업
(2) 국내 기업
3) 기술개발 동향 변화
13. 반도체용 히터 특허동향
1) 국내외 출원 동향
2) 주요 출원 기업 및 특허 목록
(1) 해외 기업
(2) 국내 기업
3) 기술개발 동향 변화
14. 진공펌프 특허동향
1) 국내외 출원 동향
2) 주요 출원 기업 및 특허 목록
(1) 해외 기업
(2) 국내 기업
3) 기술개발 동향 변화
15. MFC(Mass Flow Controller) 특허동향
1) 국내외 출원 동향
2) 주요 출원 기업 및 특허 목록
(1) 해외 기업
(2) 국내 기업
3) 기술개발 동향 변화
16. CVD(Chemical Vapor Deposition) 장치 부품 특허동향
1) 국내외 출원 동향
2) 주요 출원 기업 및 특허 목록
(1) 해외 기업
(2) 국내 기업
3) 기술개발 동향 변화
17. 초고순도 불화수소 특허동향
1) 국내외 출원 동향
2) 주요 출원 기업 및 특허 목록
(1) 해외 기업
(2) 국내 기업
3) 기술개발 동향 변화
18. 실리콘 웨이퍼 특허동향
1) 국내외 출원 동향
2) 주요 출원 기업 및 특허 목록
(1) 해외 기업
(2) 국내 기업
3) 기술개발 동향 변화
19. 반도체 세정 장치 및 부품 특허동향
1) 국내외 출원 동향
2) 주요 출원 기업 및 특허 목록
(1) 해외 기업
(2) 국내 기업
3) 기술개발 동향 변화
20. 반도체 측정.분석.검사 장치 및 부품 특허동향
1) 국내외 출원 동향
2) 주요 출원 기업 및 특허 목록
(1) 해외 기업
(2) 국내 기업
3) 기술개발 동향 변화
21. 2차원, 3차원 측정기 특허동향
1) 국내외 출원 동향
2) 주요 출원 기업 및 특허 목록
(1) 해외 기업
(2) 국내 기업
3) 기술개발 동향 변화
22. Bare Wafer 평탄도 검사장치 특허동향
1) 국내외 출원 동향
2) 주요 출원 기업 및 특허 목록
(1) 해외 기업
(2) 국내 기업
3) 기술개발 동향 변화
23. Power IC 특허동향
1) 국내외 출원 동향
2) 주요 출원 기업 및 특허 목록
(1) 해외 기업
(2) 국내 기업
3) 기술개발 동향 변화
24. 레귤레이터 IC 특허동향
1) 국내외 출원 동향
2) 주요 출원 기업 및 특허 목록
(1) 해외 기업
(2) 국내 기업
3) 기술개발 동향 변화
25. 식각장치용 컨트롤러 및 센서 특허동향
1) 국내외 출원 동향
2) 주요 출원 기업 및 특허 목록
(1) 해외 기업
(2) 국내 기업
3) 기술개발 동향 변화
26. 반도체 이온주입기 특허동향
1) 국내외 출원 동향
2) 주요 출원 기업 및 특허 목록
(1) 해외 기업
(2) 국내 기업
3) 기술개발 동향 변화
27. 반도체 이송 반송 모듈 및 장치
1) 국내외 출원 동향
2) 주요 출원 기업 및 특허 목록
(1) 해외 기업
(2) 국내 기업
3) 기술개발 동향 변화
28. 리소그래피 특허동향
1) 국내외 출원 동향
2) 주요 출원기업
29. 반도체용 특수가스류 [11BF3, CHF3, CO, CO2, Kr, Xe] 특허동향
1) 국내외 출원 동향
2) 주요 출원기업
30. TDMAS 소재 특허동향
1) 국내외 출원 동향
2) 주요 출원기업
31. Single SPM(Sulfuric Peroxide Mixture) 세정장치 특허동향
1) 국내외 출원 동향
2) 주요 출원기업
32. 반도체 테스터 특허동향
1) 국내외 출원 동향
2) 주요 출원기업
33. 루테늄(Ru) 박막의 ALD 전구체 특허동향
1) 국내외 출원 동향
2) 주요 출원기업
34. 고효율 유무기 하이브리드 방열 소재 특허동향
1) 국내외 출원 동향
2) 주요 출원기업
1. 반도체용 특수가스류[11BF3, CHF3, CO, CO2, Kr, Xe]
1) 산업 현황
(1) 개념 및 분류
(2) 기술수준과 기술격차
(3) 산업 동향
2) 국내외 시장 전망
(1) 시장 성장 촉진요인 및 저해요인
(2) 해외 시장
(3) 국내 시장
(4) 시장 경쟁 현황
(5) 시장 공급망 분석
3) 국내외 기술개발 및 주요기업 동향
(1) 기술 개발 주요 이슈
(2) 연구개발 동향
(3) 국내외 주요기업 기술 개발 동향
가. 해외 기업
나. 국내 기업
4) 핵심기술 개발 계획
(1) 기업 기술 개발 전략
(2) 핵심기술
2. TDMAS 소재
1) 산업 현황
(1) 개념 및 분류
(2) 기술수준과 기술격차
(3) 산업 동향
2) 국내외 시장 전망
(1) 시장 성장 촉진요인 및 저해요인
(2) 해외 시장
(3) 국내 시장
(4) 시장 경쟁 현황
(5) 시장 공급망 분석
3) 국내외 기술개발 및 주요기업 동향
(1) 기술 개발 주요 이슈
(2) 연구개발 동향
(3) 국내외 주요기업 기술 개발 동향
가. 해외 기업
나. 국내 기업
4) 핵심기술 개발 계획
(1) 기업 기술 개발 전략
(2) 핵심기술
3. 초고순도 불화수소
1) 산업 현황
(1) 개념 및 분류
(2) 산업 동향
2) 국내외 시장 전망
(1) 해외 시장
(2) 국내 시장
(3) 시장 공급망 분석
3) 국내외 기술개발 및 주요기업 동향
(1) 기술 개발 주요 이슈
(2) 연구개발 동향
(3) 국내외 주요기업 기술 개발 동향
가. 해외 기업
나. 국내 기업
4) 핵심기술 개발 계획
(1) 기업 기술 개발 전략
(2) 핵심기술
4. 실리콘 웨이퍼
1) 산업 현황
(1) 개념 및 분류
(2) 산업 동향
2) 국내외 시장 전망
(1) 해외 시장
(2) 국내 시장
(3) 시장 공급망 분석
3) 국내외 기술개발 및 주요기업 동향
(1) 기술 개발 주요 이슈
(2) 연구개발 동향
(3) 국내외 주요기업 기술 개발 동향
가. 해외 기업
나. 국내 기업
(4) 기술이전 관련 정보
4) 핵심기술 개발 계획
(1) 기업 기술 개발 전략
(2) 핵심기술
5. 고효율 유무기 하이브리드 방열 소재
1) 산업 현황
(1) 개념 및 분류
(2) 기술수준과 기술격차
(3) 산업 동향
2) 국내외 시장 전망
(1) 시장 성장 촉진요인 및 저해요인
(2) 해외 시장
(3) 국내 시장
(4) 시장 경쟁 현황
(5) 시장 공급망 분석
3) 국내외 기술개발 및 주요기업 동향
(1) 기술 개발 주요 이슈
(2) 연구개발 동향
(3) 국내외 주요기업 기술 개발 동향
가. 해외 기업
나. 국내 기업
(4) 기술이전 관련 정보
4) 핵심기술 개발 계획
(1) 기업 기술 개발 전략
(2) 핵심기술
6. 루테늄 (Ru) 박막의 ALD 전구체
1) 산업 현황
(1) 개념 및 분류
(2) 산업 동향
2) 국내외 시장 전망
(1) 시장 성장 촉진요인 및 저해요인
(2) 해외 시장
(3) 국내 시장
(4) 시장 경쟁 현황
(5) 시장 공급망 분석
3) 국내외 기술개발 및 주요기업 동향
(1) 기술 개발 주요 이슈
(2) 연구개발 동향
(3) 국내외 주요기업 기술 개발 동향
가. 해외 기업
나. 국내 기업
(4) 기술이전 관련 정보
4) 핵심기술 개발 계획
(1) 기업 기술 개발 전략
(2) 핵심기술
7. 식각장치용 컨트롤러 및 센서
1) 산업 현황
(1) 개념 및 분류
(2) 산업 동향
2) 국내외 시장 전망
(1) 해외 시장
(2) 국내 시장
(3) 시장 공급망 분석
3) 국내외 기술개발 및 주요기업 동향
(1) 기술 개발 주요 이슈
(2) 국내외 주요기업 기술 개발 동향
가. 해외 기업
나. 국내 기업
4) 핵심기술 개발 계획
(1) 기업 기술 개발 전략
(2) 핵심기술
8. 반도체 이온주입기
1) 산업 현황
(1) 개념 및 분류
(2) 산업 동향
2) 국내외 시장 전망
(1) 해외 시장
(2) 국내 시장
(3) 시장 공급망 분석
3) 국내외 기술개발 및 주요기업 동향
(1) 기술 개발 주요 이슈
(2) 연구개발 동향
(3) 국내외 주요기업 기술 개발 동향
가. 해외 기업
나. 국내 기업
4) 핵심기술 개발 계획
(1) 기업 기술 개발 전략
(2) 핵심기술
9. Power IC
1) 산업 현황
(1) 개념 및 분류
(2) 산업 동향
2) 국내외 시장 전망
(1) 해외 시장
(2) 국내 시장
(3) 시장 공급망 분석
3) 국내외 기술개발 및 주요기업 동향
(1) 기술 개발 주요 이슈
(2) 연구개발 동향
(3) 국내외 주요기업 기술 개발 동향
가. 해외 기업
나. 국내 기업
(4) 기술이전 관련 정보
4) 핵심기술 개발 계획
(1) 기업 기술 개발 전략
(2) 핵심기술
10. 레귤레이터 IC
1) 산업 현황
(1) 개념 및 분류
(2) 산업 동향
2) 국내외 시장 전망
(1) 해외 시장
(2) 국내 시장
(3) 시장 공급망 분석
3) 국내외 기술개발 및 주요기업 동향
(1) 기술 개발 주요 이슈
(2) 연구개발 동향
(3) 국내외 주요기업 기술 개발 동향
가. 해외 기업
나. 국내 기업
(4) 기술이전 관련 정보
4) 핵심기술 개발 계획
(1) 기업 기술 개발 전략
(2) 핵심기술
11. 반도체 리페어 장치
1) 산업 현황
(1) 개념 및 분류
(2) 산업 동향
2) 국내외 시장 전망
(1) 해외 시장
(2) 국내 시장
(3) 시장 공급망 분석
3) 국내외 기술개발 및 주요기업 동향
(1) 기술 개발 주요 이슈
(2) 연구개발 동향
(3) 국내외 주요기업 기술 개발 동향
가. 해외 기업
나. 국내 기업
4) 핵심기술 개발 계획
(1) 기업 기술 개발 전략
(2) 핵심기술
12. 반도체 노광장치
1) 산업 현황
(1) 개념 및 분류
(2) 산업 동향
2) 국내외 시장 전망
(1) 해외 시장
(2) 국내 시장
(3) 시장 공급망 분석
3) 국내외 기술개발 및 주요기업 동향
(1) 기술 개발 주요 이슈
(2) 연구개발 동향
(3) 국내외 주요기업 기술 개발 동향
가. 해외 기업
나. 국내 기업
(4) 기술이전 관련 정보
4) 핵심기술 개발 계획
(1) 기업 기술 개발 전략
(2) 핵심기술
13. EUV 블랭크 마스크
1) 산업 현황
(1) 개념 및 분류
(2) 산업 동향
2) 국내외 시장 전망
(1) 해외 시장
(2) 국내 시장
(3) 시장 공급망 분석
3) 국내외 기술개발 및 주요기업 동향
(1) 기술 개발 주요 이슈
(2) 연구개발 동향
(3) 국내외 주요기업 기술 개발 동향
가. 해외 기업
나. 국내 기업
4) 핵심기술 개발 계획
(1) 기업 기술 개발 전략
(2) 핵심기술
14. 리소그래피 - Mask Writer
1) 산업 현황
(1) 개념 및 분류
(2) 기술수준과 기술격차
(3) 산업 동향
2) 국내외 시장 전망
(1) 시장 성장 촉진요인 및 저해요인
(2) 해외 시장
(3) 국내 시장
(4) 수출입동향
(5) 시장 경쟁 현황
(6) 시장 공급망 분석
3) 국내외 기술개발 및 주요기업 동향
(1) 기술 개발 주요 이슈
(2) 연구개발 동향
(3) 국내외 주요기업 기술 개발 동향
가. 해외 기업
나. 국내 기업
(4) 기술이전 관련 정보
4) 핵심기술 개발 계획
(1) 기업 기술 개발 전략
(2) 핵심기술
15. 반도체 CMP 장치 및 부품
1) 산업 현황
(1) 개념 및 분류
(2) 산업 동향
2) 국내외 시장 전망
(1) 해외 시장
(2) 국내 시장
(3) 시장 공급망 분석
3) 국내외 기술개발 및 주요기업 동향
(1) 기술 개발 주요 이슈
(2) 연구개발 동향
(3) 국내외 주요기업 기술 개발 동향
가. 해외 기업
나. 국내 기업
(4) 기술이전 관련 정보
4) 핵심기술 개발 계획
(1) 기업 기술 개발 전략
(2) 핵심기술
16. 터보식펌프
1) 산업 현황
(1) 개념 및 분류
(2) 산업 동향
2) 국내외 시장 전망
(1) 해외 시장
(2) 국내 시장
(3) 시장 공급망 분석
3) 국내외 기술개발 및 주요기업 동향
(1) 기술 개발 주요 이슈
(2) 연구개발 동향
(3) 국내외 주요기업 기술 개발 동향
가. 해외 기업
나. 국내 기업
4) 핵심기술 개발 계획
(1) 기업 기술 개발 전략
(2) 핵심기술
17. 반도체용 히터
1) 산업 현황
(1) 개념 및 분류
(2) 산업 동향
2) 국내외 시장 전망
(1) 해외 시장
(2) 국내 시장
(3) 시장 공급망 분석
3) 국내외 기술개발 및 주요기업 동향
(1) 기술 개발 주요 이슈
(2) 연구개발 동향
(3) 국내외 주요기업 기술 개발 동향
가. 해외 기업
나. 국내 기업
(4) 기술이전 관련 정보
4) 핵심기술 개발 계획
(1) 기업 기술 개발 전략
(2) 핵심기술
18. 진공펌프
1) 산업 현황
(1) 개념 및 분류
(2) 산업 동향
2) 국내외 시장 전망
(1) 해외 시장
(2) 국내 시장
(3) 시장 공급망 분석
3) 국내외 기술개발 및 주요기업 동향
(1) 기술 개발 주요 이슈
(2) 연구개발 동향
(3) 국내외 주요기업 기술 개발 동향
가. 해외 기업
나. 국내 기업
4) 핵심기술 개발 계획
(1) 기업 기술 개발 전략
(2) 핵심기술
19. MFC(Mass Flow Controller)
1) 산업 현황
(1) 개념 및 분류
(2) 산업 동향
2) 국내외 시장 전망
(1) 해외 시장
(2) 국내 시장
(3) 시장 공급망 분석
3) 국내외 기술개발 및 주요기업 동향
(1) 기술 개발 주요 이슈
(2) 연구개발 동향
(3) 국내외 주요기업 기술 개발 동향
가. 해외 기업
나. 국내 기업
4) 핵심기술 개발 계획
(1) 기업 기술 개발 전략
(2) 핵심기술
20. CVD(Chemical Vapor Deposition) 장치 부품
1) 산업 현황
(1) 개념 및 분류
(2) 산업 동향
2) 국내외 시장 전망
(1) 해외 시장
(2) 국내 시장
(3) 시장 공급망 분석
3) 국내외 기술개발 및 주요기업 동향
(1) 기술 개발 주요 이슈
(2) 연구개발 동향
(3) 국내외 주요기업 기술 개발 동향
가. 해외 기업
나. 국내 기업
(4) 기술이전 관련 정보
4) 핵심기술 개발 계획
(1) 기업 기술 개발 전략
(2) 핵심기술
21. 반도체 세정 장치 및 부품
1) 산업 현황
(1) 개념 및 분류
(2) 산업 동향
2) 국내외 시장 전망
(1) 해외 시장
(2) 국내 시장
(3) 시장 공급망 분석
3) 국내외 기술개발 및 주요기업 동향
(1) 기술 개발 주요 이슈
(2) 연구개발 동향
(3) 국내외 주요기업 기술 개발 동향
가. 해외 기업
나. 국내 기업
(4) 기술이전 관련 정보
4) 핵심기술 개발 계획
(1) 기업 기술 개발 전략
(2) 핵심기술
22. Single SPM(Sulfuric Peroxide Mixture) 세정장치
1) 산업 현황
(1) 개념 및 분류
(2) 기술수준과 기술격차
(3) 산업 동향
2) 국내외 시장 전망
(1) 시장 성장 촉진요인 및 저해요인
(2) 해외 시장
(3) 국내 시장
(4) 수출입동향
(5) 시장 경쟁 현황
(6) 시장 공급망 분석
3) 국내외 기술개발 및 주요기업 동향
(1) 기술 개발 주요 이슈
(2) 연구개발 동향
(3) 국내외 주요기업 기술 개발 동향
가. 해외 기업
나. 국내 기업
4) 핵심기술 개발 계획
(1) 기업 기술 개발 전략
(2) 핵심기술
23. 반도체 측정/분석/검사 장치 및 부품
1) 산업 현황
(1) 개념 및 분류
(2) 산업 동향
2) 국내외 시장 전망
(1) 해외 시장
(2) 국내 시장
(3) 시장 공급망 분석
3) 국내외 기술개발 및 주요기업 동향
(1) 기술 개발 주요 이슈
(2) 연구개발 동향
(3) 국내외 주요기업 기술 개발 동향
가. 해외 기업
나. 국내 기업
(4) 기술이전 관련 정보
4) 핵심기술 개발 계획
(1) 기업 기술 개발 전략
(2) 핵심기술
24. 2차원, 3차원 측정기
1) 산업 현황
(1) 개념 및 분류
(2) 산업 동향
2) 국내외 시장 전망
(1) 해외 시장
(2) 국내 시장
(3) 시장 공급망 분석
3) 국내외 기술개발 및 주요기업 동향
(1) 기술 개발 주요 이슈
(2) 연구개발 동향
(3) 국내외 주요기업 기술 개발 동향
가. 해외 기업
나. 국내 기업
4) 핵심기술 개발 계획
(1) 기업 기술 개발 전략
(2) 핵심기술
25. Bare Wafer 평탄도 검사장치
1) 산업 현황
(1) 개념 및 분류
(2) 산업 동향
2) 국내외 시장 전망
(1) 해외 시장
(2) 국내 시장
(3) 시장 공급망 분석
3) 국내외 기술개발 및 주요기업 동향
(1) 기술 개발 주요 이슈
(2) 연구개발 동향
(3) 국내외 주요기업 기술 개발 동향
가. 해외 기업
나. 국내 기업
4) 핵심기술 개발 계획
(1) 기업 기술 개발 전략
(2) 핵심기술
26. 반도체 테스터
1) 산업 현황
(1) 개념 및 분류
(2) 기술수준과 기술격차
(3) 산업 동향
2) 국내외 시장 전망
(1) 시장 성장 촉진요인 및 저해요인
(2) 해외 시장
(3) 국내 시장
(4) 수출입동향
(5) 시장 경쟁 현황
(6) 시장 공급망 분석
3) 국내외 기술개발 및 주요기업 동향
(1) 기술 개발 주요 이슈
(2) 연구개발 동향
(3) 국내외 주요기업 기술 개발 동향
가. 해외 기업
나. 국내 기업
(4) 기술이전 관련 정보
4) 핵심기술 개발 계획
(1) 기업 기술 개발 전략
(2) 핵심기술
27. 반도체 이송 반송 모듈 및 장치
1) 산업 현황
(1) 개념 및 분류
(2) 산업 동향
2) 국내외 시장 전망
(1) 해외 시장
(2) 국내 시장
(3) 시장 공급망 분석
3) 국내외 기술개발 및 주요기업 동향
(1) 기술 개발 주요 이슈
(2) 연구개발 동향
(3) 국내외 주요기업 기술 개발 동향
가. 해외 기업
나. 국내 기업
4) 핵심기술 개발 계획
(1) 기업 기술 개발 전략
(2) 핵심기술
28. 반도체 패키징 장비
1) 산업 현황
(1) 개념 및 분류
(2) 산업 동향
2) 국내외 시장 전망
(1) 해외 시장
(2) 국내 시장
3) 국내외 기술개발 및 주요기업 동향
(1) 기술 개발 주요 이슈
(2) 국내외 주요기업 기술 개발 동향
가. 해외 기업
나. 국내 기업
다. 국내 연구개발 기관
4) 핵심기술 개발 계획
(1) 기업 기술 개발 전략
(2) 핵심기술 개발 전략
가. 핵심기술
나. 핵심기술 개발 로드맵(2023~2025)
다. 핵심기술 연구목표
29. 반도체 열 특성 분석 시스템
1) 산업 현황
(1) 개념 및 분류
(2) 산업 동향
2) 국내외 시장 전망
(1) 해외 시장
(2) 국내 시장
3) 국내외 기술개발 및 주요기업 동향
(1) 기술 개발 주요 이슈
(2) 국내외 주요기업 기술 개발 동향
가. 해외 기업
나. 국내 기업
다. 국내 연구개발 기관
4) 핵심기술 개발 계획
(1) 기업 기술 개발 전략
(2) 핵심기술 개발 전략
가. 핵심기술
나. 핵심기술 개발 로드맵(2023~2025)
다. 핵심기술 연구목표
30. 반도체 증착 장비
1) 산업 현황
(1) 개념 및 분류
(2) 산업 동향
2) 국내외 시장 전망
(1) 해외 시장
(2) 국내 시장
3) 국내외 기술개발 및 주요기업 동향
(1) 기술 개발 주요 이슈
(2) 국내외 주요기업 기술 개발 동향
가. 해외 기업
나. 국내 기업
다. 국내 연구개발 기관
4) 핵심기술 개발 계획
(1) 기업 기술 개발 전략
(2) 핵심기술 개발 전략
가. 핵심기술
나. 핵심기술 개발 로드맵(2023~2025)
다. 핵심기술 연구목표
31. 반도체 검수용 프로브 핀 본딩 시스템
1) 산업 현황
(1) 개념 및 분류
(2) 산업 동향
2) 국내외 시장 전망
(1) 해외 시장
(2) 국내 시장
3) 국내외 기술개발 및 주요기업 동향
(1) 기술 개발 주요 이슈
(2) 국내외 주요기업 기술 개발 동향
가. 해외 기업
나. 국내 기업
다. 국내 연구개발 기관
4) 핵심기술 개발 계획
(1) 기업 기술 개발 전략
(2) 핵심기술 개발 전략
가. 핵심기술
나. 핵심기술 개발 로드맵(2023~2025)
다. 핵심기술 연구목표
32. 반도체 후공정 측정/검사 장비
1) 산업 현황
(1) 개념 및 분류
(2) 산업 동향
2) 국내외 시장 전망
(1) 해외 시장
(2) 국내 시장
3) 국내외 기술개발 및 주요기업 동향
(1) 기술 개발 주요 이슈
(2) 국내외 주요기업 기술 개발 동향
가. 해외 기업
나. 국내 기업
다. 국내 연구개발 기관
4) 핵심기술 개발 계획
(1) 기업 기술 개발 전략
(2) 핵심기술 개발 전략
가. 핵심기술
나. 핵심기술 개발 로드맵(2023~2025)
다. 핵심기술 연구목표
33. 반도체 식각 장비
1) 산업 현황
(1) 개념 및 분류
(2) 산업 동향
2) 국내외 시장 전망
(1) 해외 시장
(2) 국내 시장
3) 국내외 기술개발 및 주요기업 동향
(1) 기술 개발 주요 이슈
(2) 국내외 주요기업 기술 개발 동향
가. 해외 기업
나. 국내 기업
다. 국내 연구개발 기관
4) 핵심기술 개발 계획
(1) 기업 기술 개발 전략
(2) 핵심기술 개발 전략
가. 핵심기술
나. 핵심기술 개발 로드맵(2023~2025)
다. 핵심기술 연구목표
34. 반도체 증착 장치 및 부품
1) 산업 현황
(1) 개념 및 분류
(2) 산업 동향
2) 국내외 시장 전망
(1) 해외 시장
(2) 국내 시장
(3) 시장 공급망 분석
3) 국내외 기술개발 및 주요기업 동향
(1) 기술 개발 주요 이슈
(2) 연구개발 동향
(3) 국내외 주요기업 기술 개발 동향
가. 해외 기업
나. 국내 기업
(4) 기술이전 관련 정보
4) 핵심기술 개발 계획
(1) 기업 기술 개발 전략
(2) 핵심기술
Ⅶ. 반도체 주요 소재/부품/장비 분야 특허 동향
1. 반도체 패키징 장비 특허동향
1) 국내외 출원 동향
2) 기술개발 동향 변화 및 기술 현황
3) 기술 독점 현황 및 IP경쟁력
4) 주요 출원 기업 및 특허 목록
2. 반도체 열 특성 분석 시스템 특허동향
1) 국내외 출원 동향
2) 기술개발 동향 변화 및 기술 현황
3) 기술 독점 현황 및 IP경쟁력
4) 주요 출원 기업 및 특허 목록
3. 반도체 증착 장비 특허동향
1) 국내외 출원 동향
2) 기술개발 동향 변화 및 기술 현황
3) 기술 독점 현황 및 IP경쟁력
4) 주요 출원 기업 및 특허 목록
4. 반도체 검수용 프로브 핀 본딩 시스템 특허동향
1) 국내외 출원 동향
2) 기술개발 동향 변화 및 기술 현황
3) 기술 독점 현황 및 IP경쟁력
4) 주요 출원 기업 및 특허 목록
5. 반도체 후공정 측정/검사 장비 특허동향
1) 국내외 출원 동향
2) 기술개발 동향 변화 및 기술 현황
3) 기술 독점 현황 및 IP경쟁력
4) 주요 출원 기업 및 특허 목록
6. 반도체 식각 장비 특허동향
1) 국내외 출원 동향
2) 기술개발 동향 변화 및 기술 현황
3) 기술 독점 현황 및 IP경쟁력
4) 주요 출원 기업 및 특허 목록
7. 반도체 리페어 장치 특허동향
1) 국내외 출원 동향
2) 주요 출원 기업 및 특허 목록
(1) 해외 기업
(2) 국내 기업
3) 기술개발 동향 변화
8. 반도체 노광장치 특허동향
1) 국내외 출원 동향
2) 주요 출원 기업 및 특허 목록
(1) 해외 기업
(2) 국내 기업
3) 기술개발 동향 변화
9. EUV 블랭크 마스크 특허동향
1) 국내외 출원 동향
2) 주요 출원 기업 및 특허 목록
(1) 해외 기업
(2) 국내 기업
3) 기술개발 동향 변화
10. 반도체 CMP 장치 및 부품 특허동향
1) 국내외 출원 동향
2) 주요 출원 기업 및 특허 목록
(1) 해외 기업
(2) 국내 기업
3) 기술개발 동향 변화
11. 반도체 증착 장치 및 부품 특허동향
1) 국내외 출원 동향
2) 주요 출원 기업 및 특허 목록
(1) 해외 기업
(2) 국내 기업
3) 기술개발 동향 변화
12. 터보식펌프 특허동향
1) 국내외 출원 동향
2) 주요 출원 기업 및 특허 목록
(1) 해외 기업
(2) 국내 기업
3) 기술개발 동향 변화
13. 반도체용 히터 특허동향
1) 국내외 출원 동향
2) 주요 출원 기업 및 특허 목록
(1) 해외 기업
(2) 국내 기업
3) 기술개발 동향 변화
14. 진공펌프 특허동향
1) 국내외 출원 동향
2) 주요 출원 기업 및 특허 목록
(1) 해외 기업
(2) 국내 기업
3) 기술개발 동향 변화
15. MFC(Mass Flow Controller) 특허동향
1) 국내외 출원 동향
2) 주요 출원 기업 및 특허 목록
(1) 해외 기업
(2) 국내 기업
3) 기술개발 동향 변화
16. CVD(Chemical Vapor Deposition) 장치 부품 특허동향
1) 국내외 출원 동향
2) 주요 출원 기업 및 특허 목록
(1) 해외 기업
(2) 국내 기업
3) 기술개발 동향 변화
17. 초고순도 불화수소 특허동향
1) 국내외 출원 동향
2) 주요 출원 기업 및 특허 목록
(1) 해외 기업
(2) 국내 기업
3) 기술개발 동향 변화
18. 실리콘 웨이퍼 특허동향
1) 국내외 출원 동향
2) 주요 출원 기업 및 특허 목록
(1) 해외 기업
(2) 국내 기업
3) 기술개발 동향 변화
19. 반도체 세정 장치 및 부품 특허동향
1) 국내외 출원 동향
2) 주요 출원 기업 및 특허 목록
(1) 해외 기업
(2) 국내 기업
3) 기술개발 동향 변화
20. 반도체 측정.분석.검사 장치 및 부품 특허동향
1) 국내외 출원 동향
2) 주요 출원 기업 및 특허 목록
(1) 해외 기업
(2) 국내 기업
3) 기술개발 동향 변화
21. 2차원, 3차원 측정기 특허동향
1) 국내외 출원 동향
2) 주요 출원 기업 및 특허 목록
(1) 해외 기업
(2) 국내 기업
3) 기술개발 동향 변화
22. Bare Wafer 평탄도 검사장치 특허동향
1) 국내외 출원 동향
2) 주요 출원 기업 및 특허 목록
(1) 해외 기업
(2) 국내 기업
3) 기술개발 동향 변화
23. Power IC 특허동향
1) 국내외 출원 동향
2) 주요 출원 기업 및 특허 목록
(1) 해외 기업
(2) 국내 기업
3) 기술개발 동향 변화
24. 레귤레이터 IC 특허동향
1) 국내외 출원 동향
2) 주요 출원 기업 및 특허 목록
(1) 해외 기업
(2) 국내 기업
3) 기술개발 동향 변화
25. 식각장치용 컨트롤러 및 센서 특허동향
1) 국내외 출원 동향
2) 주요 출원 기업 및 특허 목록
(1) 해외 기업
(2) 국내 기업
3) 기술개발 동향 변화
26. 반도체 이온주입기 특허동향
1) 국내외 출원 동향
2) 주요 출원 기업 및 특허 목록
(1) 해외 기업
(2) 국내 기업
3) 기술개발 동향 변화
27. 반도체 이송 반송 모듈 및 장치
1) 국내외 출원 동향
2) 주요 출원 기업 및 특허 목록
(1) 해외 기업
(2) 국내 기업
3) 기술개발 동향 변화
28. 리소그래피 특허동향
1) 국내외 출원 동향
2) 주요 출원기업
29. 반도체용 특수가스류 [11BF3, CHF3, CO, CO2, Kr, Xe] 특허동향
1) 국내외 출원 동향
2) 주요 출원기업
30. TDMAS 소재 특허동향
1) 국내외 출원 동향
2) 주요 출원기업
31. Single SPM(Sulfuric Peroxide Mixture) 세정장치 특허동향
1) 국내외 출원 동향
2) 주요 출원기업
32. 반도체 테스터 특허동향
1) 국내외 출원 동향
2) 주요 출원기업
33. 루테늄(Ru) 박막의 ALD 전구체 특허동향
1) 국내외 출원 동향
2) 주요 출원기업
34. 고효율 유무기 하이브리드 방열 소재 특허동향
1) 국내외 출원 동향
2) 주요 출원기업