Facing Target Sputtering (FTS)의 원리와 응용
BOOKK(부크크) 출판사의 상품은 주문 제작 도서로 주문취소 및 반품이 불가하며, 배송완료까지 KBOOKSTORE 배송 일정 기준 +7일이 추가됩니다.
$12.93
SKU
9791141015640
[Free shipping over $100]
Standard Shipping estimated by Fri 05/31 - Thu 06/6 (주문일로부 10-14 영업일)
Express Shipping estimated by Tue 05/28 - Thu 05/30 (주문일로부 7-9 영업일)
* 안내되는 배송 완료 예상일은 유통사/배송사의 상황에 따라 예고 없이 변동될 수 있습니다.
| Publication Date | 2023/02/14 |
| Pages/Weight/Size | 210*297*15mm |
| ISBN | 9791141015640 |
| Categories | 자연과학 |
Description
Facing Target Sputtering(FTS) 장비를 처음 접하는 신입 연구자에게 매뉴얼이자 연구를 시작할 수 있는 작은 용기를 심어주는 책이다. 구성은 증착 공정의 기본이 되는 플라즈마와 기타 기구들의 원리와 종류에 관해 설명하고 스퍼터링의 원리와 장비의 원리에 관해 설명한다. 이후 FTS 장비 사용 방법과 공정 파라미터, 측정 기구들을 몇 가지 소개하고 유지 보수하는 방법을 설명하였다. 처음 연구실에 들어와 실험을 시작하기 어려운 상황에 든든한 보좌관 역할을 해주는 지침서가 될 것이다.
Contents
1장 플라즈마 기초
1.1 서론
1.2 플라즈마의 정의
1.3 플라즈마 생성조건
1.4 참고문헌
2장 반도체 진공 장비
2.1 진공펌프
2.2 PVD
2.3 ALD
2.4 참고문헌
3장 Facing Target Sputtering (FTS)
3.1 FTS의 구조
3.2 FTS 사용 방법
3.3 Sputtering 파라미터
3.4 박막 평가
3.5 참고 문헌
4장 유지 및 보수
4.1 타겟건 유지보수
4.2 챔버 유지보수
4.3 Leak 유지
1.1 서론
1.2 플라즈마의 정의
1.3 플라즈마 생성조건
1.4 참고문헌
2장 반도체 진공 장비
2.1 진공펌프
2.2 PVD
2.3 ALD
2.4 참고문헌
3장 Facing Target Sputtering (FTS)
3.1 FTS의 구조
3.2 FTS 사용 방법
3.3 Sputtering 파라미터
3.4 박막 평가
3.5 참고 문헌
4장 유지 및 보수
4.1 타겟건 유지보수
4.2 챔버 유지보수
4.3 Leak 유지